사업분야

Business

한국센서연구소는 AI 반도체 공정 서비스를 제공합니다.

AI 반도체 TEG 서비스

AI 반도체 공정 서비스

  • 인공지능 반도체 및 다양한 반도체 제작을 위한 공정 서비스 제공
  • 국내 최초로 8인치 CMOS 공정 진행 웨이퍼 위에 인공지능 반도체 소자 집적 공정 구현
  • 다양한 인공지능 반도체 및 메모리 반도체 공정 서비스 제공

AI 반도체 분석 서비스

  • 인공지능 반도체의 Cycling 특성 분석
  • 인공지능 반도체의 LTP/LTD 특성 분석
  • 대용량 인공지능 반도체(16x16, 64x64, 256x256)의 통계적 분석 가능

단위 공정 서비스

고성능 ALD 증착 서비스

  • 고성능 ALD & PE-ALD 증착 서비스
  • 조각 웨이퍼 ~ 8인치 웨이퍼 공정 가능
  • 증착 가능 물질 : IGZO, HfO2, Al2O3, ZnO, SiO2, Si3N4
  • ** 고성능 ALD 증착 노하우 다수 확보

증착 서비스(Metal, 절연체)

  • Sputtering 및 Evaporation 증착 서비스
  • 조각 웨이퍼 ~ 8인치 웨이퍼 공정 가능
  • 증착 가능 물질 : Pd, Ti, Ni, Al, Ag, Si, Er, Sb, HfO2, Al2O3, SiO2, Si3N4

다양한 공정 서비스

  • Photolithography 공정, 다양한 물질에 대한 Lift-Off 공정
  • Oxidation, RTP, RTA, High Temperature Annealing 등
  • 특수 공정 : Low Density Plasma Etch, High Pressure Annealing(N2, H2, D2) 등

Business

한국센서연구소는 4인치 웨이퍼 제작 서비스를 제공합니다.

이차원 반도체 웨이퍼 제작 서비스

칼코지나이드계 물질 특성

  • 칼코지나이드계 물질은 구조적으로 매우 안정된 2차원 소재임
  • Graphene과 달리 Gap이 있고 기계적 유연성이 뛰어남
  • 높은 전하 이동도를 갖고 있어서 반도체 및 센서 등 다양한 분야에 응용 가능함

4인치 웨이퍼 제작

  • 4인치 웨이퍼에 높은 균일도를 갖는 MoS2, WS2 박막 형성
  • 2-Layer MoS2 및 WS2 층이 균일하게 형성됨
  • 차세대 반도체 소자 및 센서에 적용

2차원 반도체 소자

  • Mono-layer 및 Two-layer MoS2 을 이용한 2차차원 반도체 소자
  • 최신 반도체 공정을 이용한 안정된 2차원 반도체 제작
  • Mono-layer 및 Two-layer MoS2 반도체 소자
문의하기 주요실적

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